半导体器件静电放电模拟器
ESS-6002 /6008
半导体器件
静电放电模拟器
●最小10V输出，可进行1V步进设定，最适合用于敏感元件的评价试验。
（ESS-6002）
●最大8KV输出，可进行10V步进设定，可进行破坏性试验。（ESS-6008）
●通过使用简易放电板，可以用IC放电夹直接放电
●通过使用半自动精密型探针台，可半自动的进行定量的放电。
●可进行人体模型（HBM）、机械模型（MM）试验
●能在端口间正确地施加标准波形
●通过主端口，可确认放电后的特性变化
●可设定高速上升时间。（选件）
人体模型试验 (HBM) 探针台（半自动精密型探针台）
AEC-Q100-002-Rev.D Jul.2003
ESDA ANSI/EOS/ESD-STM5.1-2001
IEC61340-3-1Ed.1.0 2002
IEC60749-26 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22- A114E Jan.2007
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Test Method304
MIL-STD-883F 3015.7 Mar.1989
机械模型试验 (MM)
AEC-Q100-003-REV -E Jul.2003
ESDA ANSI/ ESD STM5.2-1999
IEC61340-3-2 Ed.1.0-2002
IEC60749-27 Ed.1.0 2003
JEDEC JESD22- A115A Oct.1997
JEITA EIAJ ED-4701/300 Aug.2001 Reference Test Method
特征
项目 功能/性能
输出电压 10～2000V±10％（ESS-6002） 1V步进
100～8000V±10％（ESS-6008） 10V步进
输出极性 正或负
重复周期 0.3～99s±10％
到10s为止0.1s步进 10s以后1s步进
放电次数 1～99次/连续
外部触发输入 最大±15V，BNC接口
通过TTL下降时间来控制（100us以上的LOW或者端口间短路）
触发输出 输出阻抗50Ω，TTL高脉冲5ms，BNC接头
探针台控制 和探针台选件（精密型探针台），型号：18-00076A连接后控制，Dsub接头
ITERLOCK 端口台、端口间开路时试验停止（出货时标配短路棒）
驱动电源 AC100～240±10％ 50Hz/60Hz
功耗 25VA
使用温度范围 15～35℃
保管温度范围 -10～50℃
使用湿度范围 25～75％RH（不结霜）
保管湿度方位 0～85％RH（不结霜）
尺寸 （W）340×(H)×199×（D）300mm（不含突起部分）
重量 约6kg
规格
对应标准
商品名称 数量
人体模型（HBM）放电探针（型号 01-00054A） 1
机械模型（MM）放电探针（型号 01-00055A） 1
（波形调整用标准卡2张 型号 06-00065A）
AC电源线 1
操作说明书 1
半导体器件
静电放电模拟器
■输出波形
HBM 探针
短路时输出波形
电压 第一次峰值电流 第二次峰值电流 周期 振铃波
lp 1 lp 2 Irs
100V 1.75A±10%
200V Min : 3.5A -10%
Max.: 3.8Z Min : 67% of Ip 1 Min : 66ns ≦30% of Ip 1
400V 7.5A±10% Max : 90% of Ip 2 Max : 90nx
800V 14A±10%
500Ω负载时输出波形（500Ω±1％）
电压 峰值电流 100ns时的电流 200ns时的电流
lpr 1100nx 1200ns
100V — — —―
200V — — —
400V Min : 0.85A 0.29A±10% Min : 35% of 100ns
Max : 1.1745A Max : 45% of 100ns
800V — —
* 输出电压根据主机（ESS-6002/6008）而定
MM 探针
项目 规格
使用温度/湿度范围 15～35℃/25～75％RH（不结霜）
尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/约760g
CR C:200pF±10％，R：0Ω
机械模型（MM）探针 01-00055A
项目 规格
使用温度/湿度范围 15～35℃/25～75％RH（不结霜）
尺寸/重量 （W）50×(H)×242×（D）54mm（不含突起部分）/约760g
CR C:100pF±10％，R：1,5kΩ±1％
短路时输出波形
电压 峰值电流 上升时间 下降时间 振铃波
lps Trs Tds Irs
250V 0.17A±10%
500V 0.33A ±10%
1000V 0.67A±10%
Min : 2ns Min : 1.3ns
2000V 1.33A±10% Max : 10ns Max : 1.7nx <15% of Ips
4000V 2.67A±10%
8000V 5.33A±10%
500Ω负载时输出波形（500Ω±1％）
电压 峰值电流 Ipr/Ips 上升时间 下降时间Tdr 振铃波
lpr Trs Tds Irs
250V — — — — —
500V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：0.25A-25%
1000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：0.5A-25%
2000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：1.0A-25%
4000V min：60% of Ips ≧63％ 5～25ns 200ns±40ns ≦15%
max：2.0A-25%
8000V — — — — —
* 输出电压根据主机（ESS-6002/6008）而定
人体模型（HBM）探针 01-00054A
前面板
■简单的操作性数字显示：进行输出电压、放电间隔、放电次数等显示
极性切换键：选择放电电压的极性
▼▲上下键：改变选择的值，一直按住快速增减。
测试等级键：调节HRM、MM的电压值
CALL键：可登记5个试验条件
SWEEP键：以设定的步进从开始电压～终止电压进行扫描
MEASURE键：试验前后，切换到DUT的测试用BNC端口
ESD键：选择试验设定项目的VOLTAGE、INTERVAL、COUNT
START键：试验开始
STOP键：试验停止
EXT TRIG键：在外部信号输入时，试验开始
